[发明专利]一种高温高速条件下电镀铜的添加剂配方及电镀方法在审
申请号: | 201910067334.3 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN109853006A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 郑莉;王翀;张东明;何为;王守绪;曾毅;周璇;陈苑明;周国云;洪延 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 邹裕蓉 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种高温高速条件下电镀铜的添加剂配方及电镀方法,属于电子元器件制造技术领域。本发明使用大电流高速电镀,缩短了电镀时间,大大提高了生产效率;本发明克服了在高温大电流情况下电镀铜面不光亮、不平整、镀层粗糙、镀层与基底结合力差、通孔和盲孔均镀能力差等的缺点,提高了电镀铜的空时效率。 | ||
搜索关键词: | 电镀铜 电镀 添加剂配方 高速条件 大电流 镀层 电子元器件制造 基底结合力 高速电镀 空时效率 生产效率 盲孔 通孔 粗糙 平整 | ||
【主权项】:
1.一种高温高速条件下电镀铜的添加剂配方,其特征在于,包括卤素离子、加速剂、抑制剂和对苯二酚;卤素离子的用量为5~500mg/L,加速剂的用量为0.1~20mg/L,抑制剂的用量为50~2000mg/L,对苯二酚的用量为1~1000mg/L。
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