[发明专利]用于周期性样式的异常检测有效
申请号: | 201910067930.1 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN111476938B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 张兆礼;马卫民;杨康康;赵焱 | 申请(专利权)人: | 中科晶源微电子技术(北京)有限公司 |
主分类号: | G07D7/202 | 分类号: | G07D7/202 |
代理公司: | 北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587 | 代理人: | 杨彦鸿;张婷婷 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了用于周期性样式的基于图像的异常检测的方法、装置以及系统。该方法包括:接收从检验图像确定的图像样式(T),其中,该图像样式(T)包括沿着空间方向的多个周期性片段;处理器通过以第一方式重新排列图像样式(T)的多个周期性片段,从而确定第一参考样式(R1),并且,通过以第二方式重新排列图像样式(T)的多个周期性片段,从而确定第二参考样式(R2);通过将图像样式(T)的一部分与第一参考样式(R1)的一部分和第二参考样式(R2)的一部分相比较,从而确定图像样式(T)中是否存在异常;以及基于图像样式(T)的一部分与第一参考样式(R1)的一部分和第二参考样式(R2)的一部分不同,确定图像样式(T)中存在异常。 | ||
搜索关键词: | 用于 周期性 样式 异常 检测 | ||
【主权项】:
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