[发明专利]激光蒸发多腔体金属/碳纳米粉体连续生产方法

摘要

本发明涉及纳米粉体生产技术领域，具体是一种激光蒸发多腔体金属/碳纳米粉体连续生产方法。通过利用激光蒸发多腔体钠米粉体制备装置，将激光功率增加至靶材熔化功率，通过对激光功率的控制，来改变阳极的蒸发效率，通过控制腔体中的温度梯度，形成不同粒径的纳米粉体，可实现连续生产。本发明可实现多种不同成分粉体的同时制备，避免了粉体制备过程中的相互污染，提高了粉体的纯度，生产效率大大提高、成本降低，在产业上可以实现不同腔体之间不断切换、持续蒸发纳米粉体的生产效果，在真空系统满足持续工作的前提下可以实现连续化生产。

主权项

1.激光蒸发多腔体金属/碳纳米粉体连续生产方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)、放置靶材：在各独立腔体的靶材固定器上安装相同成分或不同成分的单金属、金属合金或碳材料与催化剂的混合物靶材为阳极，以熔点高于3000℃的金属为阴极，靶材的上方的腔体内壁上开口处密封安装砷化镓玻璃，并对砷化镓玻璃进行冷却；(2)、抽真空：关闭各独立腔体的舱门，打开各独立腔体的真空阀门，对所有的腔体抽真空至真空度不高于10^‑4Pa，关闭各独立腔体的真空阀门；(3)、充入工作气体：打开各独立腔体的进气阀门，通入氩气和氢气的混合气体为工作气体；(4)、导入激光：将外部激光光源通过砷化镓玻璃导入腔体内，调节激光功率并对准靶材；(5)、激光蒸发：将激光功率增加至靶材熔化功率，通过对激光功率的控制，来改变阳极的蒸发效率；(6)、形成粉体：控制腔体中的温度梯度为7000‑14000K/m，形成不同粒径的纳米粉体；(7)、金属/碳纳米粉体收集：待其中任一个阳极靶材消耗完成，关闭该腔体对应激光光源，收集取出该腔体中的金属/碳纳米粉体；(8)、换靶材：对已完成粉体取出的所述腔体进行清理，放入与该腔体之前放入的靶材成分相同的单金属、金属合金或碳材料与催化剂的混合物靶材为阳极，关闭该腔体舱门，打开该腔体的真空阀门，对该腔体抽真空至真空度不高于10^‑4Pa，关闭该腔体的真空阀门，打开该腔体的进气阀门，通入氩气和氢气的混合气体为工作气体；(9)、连续生产：重复上述第(4)‑(8)的工艺步骤，实现连续生产。