[发明专利]一种氮气拉晶用管路及掺氮单晶拉制工艺在审
| 申请号： | 201910079775.5 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN109695056A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张全顺;高润飞;武志军;裘孝顺;张文霞;高树良;徐强;谷守伟 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02;C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氮气拉晶用管路，包括氩气控制管路和氮气控制管路，氩气控制管路分别与单晶炉的副室和主室连接，氮气控制管路分别与单晶炉的副室和主室连接，氩气控制管路设有氩气进气管道，氮气控制管路设有氮气进气管道。本发明的有益效果是氮气拉晶用管路结构更加简单，便于安装，同时，采用该结构的管路结构，将氩气与氮气分开，能够分别控制氮气和氩气的输入，该管路还具有流量计，能够时时控制氮气和氩气的输入流量，进而控制单晶炉内氩气和氮气的体积占比，保证单晶炉的炉压，保证拉制单晶的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 氩气 氮气 单晶炉 氮气控制 控制管路 拉晶 管路结构 副室 主室 流量计 氮气进气管道 便于安装 单晶拉制 进气管道 输入流量 拉制 掺氮 单晶 炉压 保证 | ||
【主权项】：
1.一种氮气拉晶用管路，其特征在于：包括氩气控制管路和氮气控制管路，所述氩气控制管路分别与单晶炉的副室和主室连接，所述氮气控制管路分别与所述单晶炉的副室和主室连接，所述氩气控制管路设有氩气进气管道，所述氮气控制管路设有氮气进气管道。
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