[发明专利]一种硅烷充装的气化增压系统在审
| 申请号： | 201910080836.X | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN109723967A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 陶刚义 | 申请（专利权）人： | 内蒙古兴洋科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04;F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 017000 内蒙古自治区鄂*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅烷充装的气化增压系统，包括：硅烷气化罐和气化器；所述硅烷气化罐一端与硅烷储罐相连，另一端与所述气化器相连；所述气化器的另一端与钢瓶充装系统连接；所述硅烷气化罐上安装有液位计；所述气化器上安装有压力计。通过硅烷气化罐和气化器实现了对液态硅烷进行气化、增压，不需要单独使用压缩机等对硅烷进行增压，解决了增压环节中容易出现泄露的问题，实现电子级硅烷零二次污染，同时降低了设备投资成本，降低了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 气化器 气化罐 增压 气化增压 充装 设备投资成本 电子级硅烷 充装系统 单独使用 液态硅烷 压力计 压缩机 液位计 储罐 钢瓶 气化 能耗 泄露 污染 环节 | ||
【主权项】：
1.一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于，包括：硅烷气化罐和气化器；所述硅烷气化罐一端与硅烷储罐相连，另一端与所述气化器相连；所述气化器的另一端与钢瓶充装系统连接；所述硅烷气化罐上安装有液位计；所述气化器上安装有压力计；将液态硅烷从所述硅烷储罐输送到硅烷气化罐内，当所述液位计检测到所述硅烷气化罐内的液位达到预设值时，停止进液，之后液态硅烷进入气化器，在气化器内将液态硅烷进行加热气化和增压，当气化后的硅烷达到预设压力值后，将硅烷输送到硅烷充装站进行充装。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古兴洋科技有限公司，未经内蒙古兴洋科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910080836.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
