[发明专利]一种细晶大规格铌管靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201910082378.3 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN109664078A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 周立鹏;陈贵曾;王成长;倪沛彤;任军帅;高婷;马保飞;卢凯凯;段启辉 | 申请（专利权）人： | 西北有色金属研究院 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710016*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种细晶大规格铌管靶材的制备方法，该方法包括：一、将铌铸锭进行多火次中温锻造得到铌棒；二、将铌棒机加工成铌管坯，经加热保温后进行一次挤压得到铌管材；三、将铌管材依次进行矫直、酸洗、真空热处理和机加工得到铌管靶材；所述铌管靶材的晶粒平均尺寸小于80μm，铌管靶材的外径为110mm～170mm，内径为90mm～150mm，长度为1000mm～3200mm。本发明采用多火次中温锻造使铌铸锭中的晶粒充分破碎并均匀，然后在加热条件下进行一次挤压，使铌管坯中产生再结晶组织，通过再结晶组织细化晶粒，实现了晶粒的进一步破碎及组织的再均匀化，得到晶粒平均尺寸小于80μm的细晶大规格铌管靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 铌管 靶材 晶粒 细晶 再结晶组织 一次挤压 机加工 管材 制备 中温 铸锭 铌棒 破碎 锻造 真空热处理 加热保温 加热条件 均匀化 矫直 酸洗 细化 | ||
【主权项】：
1.一种细晶大规格铌管靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将铌铸锭进行多火次中温锻造，得到铌棒；所述多火次中温锻造的加热保温温度为400℃～500℃，多火次中温锻造的火次不少于3火次，每火次的锻造比为1.3～1.8，每火次中的每道次变形量为15％～30％，变形速率为0.1s‑1～0.8s‑1；步骤二、将步骤一中得到的铌棒机加工成铌管坯，经加热保温后进行一次挤压，得到铌管材；所述加热保温的温度为900℃～1000℃，所述一次挤压的挤压比为5～10，挤压速度为45mm/s～65mm/s；步骤三、将步骤二中得到的铌管材依次进行矫直、酸洗、真空热处理和机加工，得到铌管靶材；所述铌管靶材的晶粒平均尺寸小于80μm，铌管靶材的外径为110mm～170mm，内径为90mm～150mm，长度为1000mm～3200mm。
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