[发明专利]一种载板的清洗方法在审
| 申请号： | 201910083499.X | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111490126A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 吴科俊;陈金元;徐升东;王燕玲 | 申请（专利权）人： | 上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种载板的清洗方法，用于制备硅基异质结太阳能电池的PECVD反应腔内，所述载板为表面开槽的实心载板，该清洗方法包括以下步骤：第一步，将一掩模板放置于空载的所述载板的槽体内；第二步，将所述载板及掩模板传入所述PECVD反应腔内，并进行NF3清洗；第三步，在清洗后的所述PECVD反应腔内进行工艺预镀膜；第四步，将所述载板从所述PECVD反应腔内传出并取下所述掩模板；第五步，将硅片放置于所述载板槽体内并传入PECVD反应腔内，进行后续工艺镀膜，该方法有助于减少载板损伤，保证工艺稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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