[发明专利]基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法有效
| 申请号： | 201910085323.8 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109655812B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 侯鹏程;柳邦;罗义鸣 | 申请（专利权）人： | 湖北三江航天红峰控制有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/497 | 分类号： | G01S7/497 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 王秀丽 |
| 地址： | 432000*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法，包括：安装激光发射二极管和激光准直镜，将激光发射二极管和激光准直镜的光轴调整至与平行光管的光轴相平行；以平行光管的位置和光轴为基准，利用五棱镜将经安装的平面反射镜反射出的激光偏转至平行光管的十字分划板正中心；安装MEMS微振镜和相机，使得MEMS微振镜在相机中清晰成像；利用图像质心检测算法和相机检测并计算MEMS微振镜的镜面质心和镜面上光斑质心的坐标；微调MEMS微振镜直至两者的质心坐标重合。通过本发明的技术方案，有效提升了激光和微振镜的实时位置检测精度，大幅度提升了激光和MEMS微振镜的同轴度，同时提高了固态激光雷达装调效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 微振镜 固态 激光雷达 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法，其特征在于，包括：步骤S1：安装激光发射二极管和激光准直镜，并利用平行光管法将所述激光发射二极管和所述激光准直镜的光轴调整至与平行光管的光轴相平行；步骤S2：以所述平行光管的位置和光轴为基准，利用五棱镜将经安装的平面反射镜反射出的激光偏转至所述平行光管的十字分划板正中心；步骤S3：将所述五棱镜撤下后安装MEMS微振镜和相机，使得所述MEMS微振镜在所述相机中清晰成像；步骤S4：利用图像质心检测算法和所述相机检测并计算所述MEMS微振镜的镜面质心和镜面上光斑质心的坐标；步骤S5：判断所述MEMS微振镜的镜面质心坐标和所述镜面上光斑质心的坐标是否重合，若重合，则完成对所述MEMS微振镜的装调，若不重合，则微调所述MEMS微振镜直至两者的质心坐标重合。
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