[发明专利]一种光纤探头式清洁、检测系统及其制作和使用方法

摘要

本发明公开了一种光纤探头式清洁、检测系统及其制作和使用方法，包括光谱分析仪和环形器，光谱分析仪和环形器之间设有两条前段单模光纤，其中一条前段单模光纤上设有衰减器，另一条前段单模光纤上设有放大器，环形器上还设有后段单模光纤，后段单模光纤上设有依次设有位移台和光纤探头。本发明提供的可调控气泡清洁和检测系统，工作元件为光纤探头，易弯曲、移动；由于光纤良好的可塑性，产生气泡的光纤锥尺寸可足够小，有利于深入到装置内部，实现任意位置的定点清洁；利用液体中的气泡实现清洁功能，不会对待清洁物体造成机械损伤；可同时实现对待清洁面的清洁和洁净度检测，清洁元件与检测元件为同一光纤探头，结构紧凑，集成度高。

主权项

1.一种光纤探头式清洁、检测系统，其特征在于，包括光谱分析仪(1)和环形器(4)，所述光谱分析仪(1)和环形器(4)之间设有两条前段单模光纤(5)，其中一条前段单模光纤(5)上设有衰减器(2)，另一条前段单模光纤(5)上设有放大器(3)，所述环形器(4)上还设有后段单模光纤(6)，后段单模光纤(6)上设有依次设有位移台(9)和光纤探头(10)。