[发明专利]图案描绘装置及基板处理装置

摘要

本发明是一种图案描绘装置(EX)，其是一面将来自光源(LS)的射束(LB)根据图案信息进行强度调变，一面将射束(LB)投射至基板(P)上而于主扫描方向进行扫描，藉此于基板(P)上形成图案者，且具备：扫描装置(14)，其是为了使射束(LB)于主扫描方向上扫描，而将包含使来自光源(LS)的射束(LB)偏向的偏向构件(PM)的多个扫描单元(Un)，以投射至基板(P)上的射束(LB)的扫描轨迹相互错开的方式配置；及电光偏向装置(BDU)，其是为了将来自光源(LS)的射束(LB)分时供给至多个扫描单元(Un)的各者，而将来自光源(LS)的射束(LB)切换为偏向状态或非偏向状态，并且为了使射束(LB)的扫描轨迹于与主扫描方向交叉的副扫描方向移位，而可调整射束(LB)的偏向角。

主权项

1.一种图案描绘装置，其藉由一面对应图案对来自脉冲光源部的脉冲射束的聚焦光进行强度调变，一面在基板上沿主扫描方向使上述聚焦光相对地扫描，在上述基板上描绘上述图案，且具备：描绘数据存储部，其藉由对应上述聚焦光的尺寸而设定的尺寸Pxy的像素将上述图案分割，并将多个上述像素的各个作为以与上述图案对应的逻辑信息表示的描绘数据而存储；时脉产生部，其具有在将上述聚焦光的扫描速度设为Vs、N设为2以上的整数时以Pxy/(N×Vs)决定的基准周期，并在上述聚焦光的扫描中对每个上述尺寸Pxy产生N个时脉脉冲；光源控制部，其以响应上述时脉脉冲产生上述脉冲射束的方式控制上述脉冲光源部，并根据自上述描绘数据存储部依序送出的上述描绘数据的每个上述像素的上述逻辑信息调变上述脉冲射束的上述聚焦光的强度；修正像素指定部，其在沿上述主扫描方向排列的多个上述像素之中，指定配置在特定的位置的至少1个上述像素作为修正像素；及送出时点切换部，其以在上述聚焦光扫描上述修正像素以外的非修正像素的时点，上述时脉脉冲的N个对应1像素，在上述聚焦光扫描上述修正像素的时点，上述时脉脉冲的N±m个(m为具有m＜N的关系的1以上的整数)对应1像素的方式，切换上述像素的上述逻辑信息的从上述描绘数据存储部的送出时点。