[发明专利]一种薄膜溅射控制装置和方法在审
| 申请号： | 201910086197.8 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109722638A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 朱爱强;夏飞;罗剑伟 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种薄膜溅射控制装置和方法，其中，该装置包括：电源模块(1)，其正极连接至薄膜溅射腔体(7)的阳极，负极连接至薄膜溅射腔体(7)的阴极；电压监控器(2)，并联连接到电源模块(1)的正极和负极之间，用于获取薄膜溅射腔体(7)的溅射电压；电流监控器(3)，串联连接到电源模块(1)的负极和薄膜溅射腔体(7)的阴极之间，用于获取薄膜溅射腔体(7)的溅射电流；溅射控制器(4)，分别电连接到电源模块(1)、电压监控器(2)和电流监控器(3)，用于根据溅射电压和溅射电流，补偿薄膜溅射腔体(7)的溅射功率，使溅射速率恒定。从而能够自动根据靶材直径的变化对溅射速率进行调整，满足镀膜厚度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射腔体 薄膜 电源模块 溅射 阴极 电流监控器 电压监控器 负极 溅射电压 控制装置 恒定 正极 并联连接 补偿薄膜 负极连接 溅射功率 正极连接 控制器 阳极 电连接 靶材 镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜溅射控制装置，其特征在于，包括：电源模块(1)，其正极连接至薄膜溅射腔体(7)的阳极，负极连接至薄膜溅射腔体(7)的阴极；电压监控器(2)，并联连接到所述电源模块(1)的正极和负极之间，用于获取所述薄膜溅射腔体(7)的溅射电压；电流监控器(3)，串联连接到所述电源模块(1)的负极和所述薄膜溅射腔体(7)的阴极之间，用于获取所述薄膜溅射腔体(7)的溅射电流；溅射控制器(4)，分别电连接到所述电源模块(1)、电压监控器(2)和电流监控器(3)，用于根据所述薄膜溅射腔体(7)的溅射电压和溅射电流，补偿所述薄膜溅射腔体(7)的溅射功率，使溅射速率恒定。
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