[发明专利]图案描绘装置及基板处理装置

摘要

本发明是一种图案描绘装置(EX)，其是一面将来自光源(LS)的射束(LB)根据图案信息进行强度调变，一面将射束(LB)投射至基板(P)上而于主扫描方向进行扫描，藉此于基板(P)上形成图案者，且具备：扫描装置(14)，其是为了使射束(LB)于主扫描方向上扫描，而将包含使来自光源(LS)的射束(LB)偏向的偏向构件(PM)的多个扫描单元(Un)，以投射至基板(P)上的射束(LB)的扫描轨迹相互错开的方式配置；及电光偏向装置(BDU)，其是为了将来自光源(LS)的射束(LB)分时供给至多个扫描单元(Un)的各者，而将来自光源(LS)的射束(LB)切换为偏向状态或非偏向状态，并且为了使射束(LB)的扫描轨迹于与主扫描方向交叉的副扫描方向移位，而可调整射束(LB)的偏向角。

主权项

1.一种图案描绘装置，其藉由将根据与应描绘的图案对应的描绘数据强度调变后的聚焦光在基板上于主扫描方向扫描的描绘单元，在上述基板上描绘图案，且具备：第1光源装置，其包含将成为上述聚焦光的起源的种子光以频率Fb产生成脉冲状的第1脉冲光源部、响应上述描绘数据而以电性控制调变上述种子光的波峰强度的第1电光调变器、将被调变的上述种子光放大的第1光放大器、及将放大后的上述种子光的谐波作为上述频率Fb的脉冲状的第1射束而生成的第1波长转换光学元件；第2光源装置，其包含将成为上述聚焦光的起源的种子光以上述频率Fb产生成脉冲状的第2脉冲光源部、响应上述描绘数据而以电性控制调变上述种子光的波峰强度的第2电光调变器、将该被调变的上述种子光放大的第2光放大器、及将放大后的上述种子光的谐波作为上述频率Fb的脉冲状的第2射束而生成的第2波长转换光学元件；控制电路，其以具有上述频率Fb的半周期的量的相位差而产生上述第1射束及上述第2射束的方式，控制上述第1脉冲光源部及上述第2脉冲光源部；及合成光学部，其为了生成上述聚焦光，将上述第1射束及上述第2射束合成且将以频率2Fb产生成脉冲状的合成射束朝向上述描绘单元射出。