[发明专利]一种中测台的储料装置

摘要

本发明公开了一种中测台的储料装置，属于中测台的技术领域，旨在提供一种方便将晶圆匣放入机箱内的中测台的储料装置，其技术方案要点是包括机箱和机箱铰接的箱盖，所述机箱内设有用于放置晶圆匣的物料平台，所述机箱内设有用于驱动物料平台升降的升降机构和用于驱动升降机构运行的驱动电机，所述升降机构包括两根竖直设置的导杆，两根导杆转动设置在机箱内底壁，两根导杆之间设有升降螺杆，所述升降螺杆转动设置在机箱内，所述物料平台与导杆滑动连接，且与升降螺杆螺纹连接，所述升降螺杆与驱动电机之间设有第一传动机构。通过升降机构和物料平台的设置，能够起到方便工人将晶圆匣放入机箱内，同时避免晶圆从晶圆匣内滑落出的效果。

主权项

1.一种中测台的储料装置，包括机箱（1）和机箱（1）铰接的箱盖（11），所述机箱（1）内中空设置，所述机箱（1）内设有用于放置晶圆匣的物料平台（2），其特征在于：所述机箱（1）内设有用于驱动物料平台（2）升降的升降机构（3）和用于驱动升降机构（3）运行的驱动电机（4），所述升降机构（3）包括两根竖直设置的导杆（31），两根导杆（31）转动设置在机箱（1）内底壁，两根导杆（31）之间设有升降螺杆（32），所述升降螺杆（32）转动设置在机箱（1）内，所述物料平台（2）与导杆（31）滑动连接，且与升降螺杆（32）螺纹连接，所述升降螺杆（32）与驱动电机（4）之间设有第一传动机构（5）；所述机箱（1）与箱盖（11）之间设有铰接轴（12），所述铰接轴（12）转动设置在机箱（1）上，所述箱盖（11）与铰接轴（12）固定连接，所述铰接轴（12）与驱动电机（4）之间设有第二传动机构（6）。