[发明专利]一种光刻版表面损伤修复溶液及其应用

摘要

本发明涉及光刻板清洗领域，具体涉及一种光刻版表面损伤修复溶液及其应用，一种光刻版表面损伤修复溶液包括重铬酸钾、水溶性铬盐、浓硫酸和水；光刻版表面损伤修复溶液的修复方法包括如下步骤：(1)将所述修复溶液加热并同时搅拌后，静置；(2)将光刻版放入所述修复溶液中浸泡并超声；(3)冲洗光刻板；(4)干燥光刻板；(5)吹干光刻板。修复溶液配置和使用方法简单，成本低廉。该修复溶液对光刻版表面嵌入颗粒物、硌伤等能起到良好的修复作用，清洗后的光刻版表面光鲜、平整，同时又不导致光刻版铬镀层厚度显著下降。保证了后续作业的光刻质量，有利于提升产品质量，同时降低了由于频繁更换新光刻版造成的损失。