[发明专利]封装基板制造工艺、封装基板以及晶圆封装结构在审
申请号: | 201910090884.7 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN109841531A | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 康孝恒;蔡克林;倪超;李瑞;邱龙洲;许凯 | 申请(专利权)人: | 深圳市志金电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 齐则琳;张雷 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了封装基板制造工艺、封装基板以及晶圆封装结构,其中,封装基板制造工艺通过将第一导电片、绝缘件以及第二导电片进行层叠压合形成母材,绝缘件上设置有用于容纳凸台的收容腔,通过对第一导电片、绝缘件和第二导电片进行加工形成引线、以及与引线一端连接的第一接线凸起和与引线另一端连接的第二接线凸起,并通过去除凸台以露出收容腔。这样,通过该封装基板制造工艺可以一次性成型具有封装线路和供晶圆嵌入封装的收容腔的封装基板,工艺简单,成本低,可实大批量制作,生产效率高,而且采用该封装基板制造工艺制成的封装基板,晶圆可以嵌入封装,使得产品整体厚度较为较薄,能够满足市场需求。 | ||
搜索关键词: | 封装基板 制造工艺 导电片 晶圆 绝缘件 收容腔 封装 封装结构 一端连接 接线 凸起 凸台 嵌入 一次性成型 层叠压合 生产效率 市场需求 母材 去除 容纳 制作 加工 | ||
【主权项】:
1.一种封装基板制造工艺,用于制造供晶圆封装的封装基板,其特征在于,所述封装基板制造工艺包括:将一侧具有凸台的第一导电片和一侧具有收容腔的绝缘件以所述凸台与所述收容腔相对的方式进行层叠压合,并使所述凸台收容于所述收容腔中,将所述第二导电片层叠压合于所述绝缘件之远离所述第一导电片的一侧,制得母材;在所述母材之对应所述收容腔的边缘制作穿孔,所述穿孔依次贯穿所述第二导电片和所述绝缘件,在所述穿孔中填充导电材料以形成用于连接所述第一导电片与所述第二导电片的引线;对所述第二导电片进行加工以制作出环绕于所述引线一端外周的第一接线凸起,对所述第一导电片位于所述收容腔旁侧的部分进行加工以形成与所述引线另一端连接的第二接线凸起,除去所述凸台,制得封装基板半成品;对所述封装基板半成品进行切割,制得封装基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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