[发明专利]两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台有效
| 申请号： | 201910092010.5 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN109879244B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 崔玉国;万光继;娄军强;杨依领 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 宁波市天晟知识产权代理有限公司 33219 | 代理人： | 王美荣;黄晓凡 |
| 地址： | 315211 浙江省宁波市江北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面，动台面间隙设有底座，底座设有呈矩形顺次分布的第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元；第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元独立伸缩且设于动台面下，第一驱动单元与第二驱动单元之间设有正对动台面的第一位移传感器，第三驱动单元与第四驱动单元之间设有正对动台面的第二位移传感器，第一驱动单元与第四驱动单元之间设有正对动台面的第三位移传感器。本发明能完成动台面沿着z轴升降，以及沿着x轴和y轴倾斜转动。本发明的优点是结构简单紧凑、工作台面大、无位移耦合、固有频率高、便于集成电容式位移传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 转动 平动 行程 耦合 中空 并联 压电 微动 平台 | ||
【主权项】：
1.两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面(5)，所述的动台面(5)间隙设有底座(1)，其特征是：所述的底座(1)设有呈矩形顺次分布的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)、第三驱动单元(23)和第四驱动单元(24)；所述的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)、第三驱动单元(23)和第四驱动单元(24)独立伸缩且设于所述的动台面(5)下，所述的第一驱动单元(21)与第二驱动单元(22)之间设有正对所述的动台面(5)的第一位移传感器(31)，所述的第三驱动单元(23)与第四驱动单元(24)之间设有正对所述的动台面(5)的第二位移传感器(32)，所述的第一驱动单元(21)与第四驱动单元(24)之间设有正对所述的动台面(5)的第三位移传感器(33)。
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