[发明专利]两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台有效
| 申请号： | 201910092853.5 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN109879245B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 崔玉国;张圣贤;娄军强;马剑强;周鹏飞;惠相君 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 宁波市天晟知识产权代理有限公司 33219 | 代理人： | 王美荣;黄晓凡 |
| 地址： | 315211 浙江省宁波市江北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面，动台面的下方间隙设有定台体，定台体的中间设有第一容纳槽，第一容纳槽间隙设有螺固于动台面的动台体；动台体还设有第一传导部、第二传导部和第三传导部；定台体在位于第一容纳槽的边缘设有间隙容纳第二柔性薄板的第三容纳槽；第一传导部、第二传导部和第三传导部的各自刚性部的第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元；通过对第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元的驱动实现动台体及动台面在水平面内的两平动及一转动。本发明的优点是平台整体结构简单紧凑、工作台面大、位移行程大、无寄生位移、固有频率高、易于集成位移式传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 平动 转动 行程 耦合 并联 压电 微动 平台 | ||
【主权项】：
1.两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面(3)，其特征是：所述的动台面(3)的下方间隙设有定台体(1)，所述的定台体(1)的中间设有第一容纳槽(11)，所述的第一容纳槽(11)间隙设有动台体(6)，所述的动台体(6)和所述的动台面(3)之间螺固有第一螺钉(51)；所述的动台体(6)包括互相垂直的第一边缘(61)和第二边缘(62)，所述的第一边缘(61)设有第一传导部(71)和第二传导部(72)，所述的第二边缘(62)设有第三传导部(73)；所述的第一传导部(71)、第二传导部(72)和第三传导部(73)的结构相同，对应设于所述的动台体(6)边缘的第二容纳槽(701)内，包括分别朝向所述的动台体(6)且间隙设于所述的第二容纳槽(701)内的刚性部(703)和第一柔性薄板(705)，设于刚性部(703) 上且连于第一柔性薄板(705)的一端的第一凸部(704)，设于动台体(6)上且连于第一柔性薄板(705)的另一端的第二凸部(702)，还包括垂直连于刚性部(703)的第二柔性薄板(706)，所述的第二柔性薄板(706)的另一端连于所述的定台体(1)；所述的定台体(1)在位于第一容纳槽(11)的边缘设有间隙容纳所述的第二柔性薄板(706)的第三容纳槽(12)；所述的第一传导部(71)、第二传导部(72)和第三传导部(73)的各自所述的刚性部(703)远离动台体(6)的一端分别设有第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)和第三驱动单元(23)。
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