[发明专利]有源矩阵基板及包括该基板的X射线摄像面板

摘要

本发明提供一种能够抑制水分向用于X射线摄像装置的有源矩阵基板侵入的有源矩阵基板及包括该基板的X射线摄像面板。有源矩阵基板(1)在各像素(P1)中包括：光电转换元件(12)，其具有一对电极和设置于该一对电极之间的半导体层；第一平坦化膜(106)，其覆盖光电转换元件(12)，并由有机类树脂膜构成；以及第一无机绝缘膜(107)，其覆盖第一平坦化膜(106)。第一平坦化膜(106)和第一无机绝缘膜(107)设置至像素区域的外侧。在像素区域的外侧，为了不露出第一平坦化膜(106)，第一平坦化膜(106)被第一无机绝缘膜(107)覆盖。

主权项

1.一种有源矩阵基板，具有包含多个像素的像素区域，其特征在于，所述多个像素分别包括：光电转换元件，其具有一对电极和设置于该一对电极之间的半导体层；第一平坦化膜，其覆盖所述光电转换元件，并由有机类树脂膜构成；以及第一无机绝缘膜，其覆盖所述第一平坦化膜，所述第一平坦化膜和所述第一无机绝缘膜设置至所述像素区域的外侧，在所述像素区域的外侧，为了不露出所述第一平坦化膜，所述第一平坦化膜被所述第一无机绝缘膜覆盖。