[发明专利]晶圆片切割的装置在审
| 申请号： | 201910093481.8 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN109732223A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陈畅;柳啸;卢庆光;杨深明;卢建刚;尹建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/064;B23K26/02;B23K26/142 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 彭海民 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆片切割的装置，该装置包括：激光器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、椭圆光斑整形系统、第三反射镜、光学衍射整形镜片、聚焦镜和抽尘设备，该激光器产生的激光光束经扩束镜扩束后，得到扩束后的平行激光光束，该平行激光光束经第一反射镜和第二反射镜依次反射后，投射至椭圆光斑整形系统中，椭圆光斑整形系统将平行激光光束转变为椭圆形光斑，椭圆形光斑经第三反射镜反射后，投射至光学衍射整形镜片，光学衍射整形镜片将椭圆形光斑整形为N个满足预置条件的整形光斑，并传输至聚焦镜，聚焦镜用于将N个整形光斑聚焦至晶圆片上，以切割晶圆片，抽尘设备用于排出在切割晶圆片的过程中产生的残渣和粉尘，提高切割质质量。 | ||
| 搜索关键词： | 整形 反射镜 晶圆片 平行激光光束 椭圆形光斑 切割 光学衍射 椭圆光斑 整形系统 聚焦镜 镜片 光斑 激光器 扩束镜 抽尘 扩束 投射 反射镜反射 激光光束 预置条件 圆片切割 反射 排出 种晶 粉尘 聚焦 传输 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆片切割的装置，其特征在于，所述装置包括：激光器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、椭圆光斑整形系统、第三反射镜、光学衍射整形镜片、聚焦镜和抽尘设备；所述激光器用于提供激光光束，所述激光光束经所述扩束镜扩束后，得到扩束后的平行激光光束，所述平行激光光束经所述第一反射镜和第二反射镜依次反射后，投射至所述椭圆光斑整形系统中；所述椭圆光斑整形系统用于将所述平行激光光束转变为椭圆形光斑；所述椭圆形光斑经所述第三反射镜反射后，投射至所述光学衍射整形镜片；所述光学衍射整形镜片用于将所述椭圆形光斑整形为N个满足预置条件的整形光斑，并传输至所述聚焦镜；所述聚焦镜用于将所述N个整形光斑聚焦至所述晶圆片上，以切割所述晶圆片；所述抽尘设备用于排出在切割所述晶圆片的过程中产生的残渣和粉尘。
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