[发明专利]可集成化MEMS振荡器电路有效
| 申请号： | 201910095181.3 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN111510069B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 陈华;孟真;张兴成;刘谋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03B5/08 | 分类号： | H03B5/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可集成化MEMS振荡器电路，包括：集成的多级信号放大模块，用于对输入信号进行各级放大，该多级信号放大模块的最后一级信号放大模块用于信号的输出，输出信号连接至高频器件的输入端，输入信号连接至高频器件的输出端；其中，第一级信号放大模块中的跨阻放大器采用较低带宽来获得较大增益，其滞后的相移量通过后面设置的有源移相器提供超前相位来补偿，同时有源移相器还能提供额外增益；通过在多级信号放大模块的各级信号放大模块之间、模块内部之间、以及模块与测试缓冲器(测试电路)之间采用多个电源以及多个地的架构，并且通过隔直电容进行级联，具有高稳定性、高增益、低功耗、较好的安全性、以及简单实用的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 集成化 mems 振荡器 电路 | ||
【主权项】：
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