[发明专利]用于质谱分析的设备以及用于分析半导体晶圆的方法在审
| 申请号： | 201910095748.7 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110231393A | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 金国柱;严基柱;尹喆祥;李康宅 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;延世大学校产学协力团 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 程月;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种用于质谱分析的设备以及分析半导体晶圆的方法。所述用于质谱分析的设备包括其上设置有包括有机物的半导体晶圆的板。混合进料器将ZnO‑石墨烯杂化物提供到半导体晶圆上的预定区域。质量分析器利用激光解吸/电离质谱(LDI‑MS)检测预定区域中的有机物。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体晶圆 质谱分析 预定区域 有机物 质量分析器 电离质谱 激光解吸 进料器 石墨烯 杂化物 分析 检测 | ||
【主权项】：
1.一种用于质谱分析的设备，所述设备包括：板，其上设置有包括有机物的半导体晶圆；混合进料器，将ZnO‑石墨烯杂化物提供到半导体晶圆上的预定区域；以及质量分析器，利用激光解吸/电离质谱检测预定区域中的有机物。
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