[发明专利]一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器

摘要

本发明公开了一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器。所述传感器由测压端口、芯片、膜片、信号处理电路板、电连接组件，所述芯片与所述信号处理电路板键合连接，其特征在于，所述膜片为陶瓷膜片，所述芯片与所述陶瓷膜片通过玻璃微熔工艺连接；所述玻璃微熔工艺为所述芯片通过玻璃胶烧结于所述陶瓷膜片上；所述陶瓷膜片固定于金属基座上；所述测压端口与被测端口密封连接；所述信号处理电路板为柔性电路板或硬质电路板。所述传感器具有如下优点：①采用玻璃微熔工艺的压力传感器，具有整体精度高，稳定好等优点；②采用陶瓷膜片，形变量较大，可以提高传感器在低压时的精度。