[发明专利]透明平面基板形成特定轮廓分离的方法、设备及产品有效
申请号: | 201910100295.2 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN111496389B | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 关来庆;卢建刚;官文龙;苑学瑞;尹建刚;张小军;邓正东;陈锐;刘宇;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23D79/00;B23K26/00 |
代理公司: | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 | 代理人: | 汪琳琳 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种透明平面基板形成特定轮廓分离的方法、设备及产品,所述方法包括如下步骤:轮廓切割步骤,用第一激光光束在所述透明平面基板上,沿所述特定轮廓方向进行切割,使透明平面基板沿特定轮廓包围的内部透明平面基板定向损伤;热影响步骤,用第二激光光束在所述特定轮廓包围的内部透明平面基板上产生热影响区域,使轮廓内部的透明平面基板发生形变;轮廓分离步骤,用压缩空气或加热液体流对已经发生形变的轮廓内部透明平面基板进行吹喷,使其可与轮廓外的平面基板实现整体分离。该方法适用的透明基板厚度范围更大,分离出的特定轮廓尺寸也更大,得到的特定轮廓孔内壁崩边更小,从而满足更多的应用需求。 | ||
搜索关键词: | 透明 平面 形成 特定 轮廓 分离 方法 设备 产品 | ||
【主权项】:
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