[发明专利]氮化物催化剂与其形成方法在审
申请号: | 201910103191.7 | 申请日: | 2019-02-01 |
公开(公告)号: | CN111250129A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 林国兴;蔡丽端;赵文轩;黄秋萍;杨秉兴;黄筱君;林俊男;林有铭 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | B01J27/24 | 分类号: | B01J27/24;C23C14/34;C23C14/06;C25B1/04;C25B11/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: |
本发明公开一种氮化物催化剂与氮化物催化剂的形成方法,该形成方法包括:将Ru靶材与M靶材置于含氮气的氛围中,其中M为Ni、Co、Fe、Mn、Cr、V、Ti、Cu、或Zn;分别提供功率至Ru靶材与M靶材;提供离子撞击Ru靶材与M靶材,以溅镀沉积M |
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搜索关键词: | 氮化物 催化剂 与其 形成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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