[发明专利]一种高电子迁移率晶体管有效
申请号: | 201910103281.6 | 申请日: | 2019-02-01 |
公开(公告)号: | CN111524958B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 江怀慈;林胜豪;刘冠宏 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/20;H01L29/207;H01L29/778 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT),其主要包含一缓冲层设于一基底上、一载流子运输层设于该缓冲层上、一载流子供应层设于该载流子运输层上、一栅极电极设于该载流子供应层上以及一源极电极以及一漏极电极设于该栅极电极两侧,其中该载流子供应层包含铝的浓度梯度。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子 迁移率 晶体管 | ||
【主权项】:
暂无信息
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