[发明专利]一种降低摇摆运动的电磁驱动振镜在审
| 申请号： | 201910104795.3 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN109683308A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 宋秀敏;夏长锋;游桥明;乔大勇;何伟 | 申请（专利权）人： | 西安知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于微光机电领域，具体涉及降低摇摆运动的电磁驱动振镜，包括电磁振镜芯片、结构体及驱动磁路；结构体用于固定电磁振镜芯片及驱动磁路；电磁振镜芯片包括可动结构、扭转梁及固定框架，可动结构通过扭转梁固定在固定框架上；驱动磁路用于驱动可动结构运动；可动结构包括可动镜面及设置在可动镜面反面的磁性材料；定义可动镜面位于水平位置时，可动镜面上表面中心为原点，Z轴垂直于可动镜面；可动结构重心在Z轴上，且可动结构重心Z向坐标与扭转梁Z向中心坐标相同。通过匹配振镜扭转梁与振镜重心的位置，减小振镜扭转梁与振镜重心的偏离程度，降低了振镜摇摆运动。 | ||
| 搜索关键词： | 振镜 可动结构 镜面 扭转梁 可动 摇摆运动 磁路 重心 驱动 电磁驱动 电磁振镜 固定框架 结构体 芯片 上表面中心 磁性材料 固定电磁 微光机电 中心坐标 原点 减小 匹配 偏离 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种降低摇摆运动的电磁驱动振镜，包括电磁振镜芯片(31)、结构体(32)及驱动磁路(34)；所述结构体(32)用于固定电磁振镜芯片(31)及驱动磁路(34)；其特征在于：所述电磁振镜芯片(31)包括可动结构、扭转梁(12)及固定框架(13)，所述可动结构通过扭转梁(12)固定在固定框架(13)上；所述驱动磁路(34)用于驱动可动结构运动；所述可动结构包括可动镜面(11)及设置在可动镜面(11)反面的磁性材料(14)；定义可动镜面位于水平位置时，可动镜面上表面中心为原点，Z轴垂直于可动镜面；可动结构重心在Z轴上，且可动结构重心Z向坐标与扭转梁Z向中心坐标相同。
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