[发明专利]非挥发性存储装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201910107966.8 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN111524893B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 卜伟海;俞少峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H10B41/30 | 分类号： | H10B41/30;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/78 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 汤陈龙;李丽 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种非挥发性存储装置及其制造方法，所述装置包括：半导体鳍片，具有第一端部和第二端部，第一端部沿第一方向延伸至所述第二端部；其中，第一端部和第二端部之间为通道区；分别位于半导体鳍片相对两侧的第一控制栅和第二控制栅，第一控制栅和第二控制栅沿第一方向延伸；位于第一控制栅和半导体鳍片之间的第一浮栅，第一浮栅至少部分覆盖通道区一侧的侧壁表面；位于第二控制栅和半导体鳍片之间的第二浮栅，第二浮栅至少部分覆盖通道区另一侧的侧壁表面。其中，第一控制栅和第二控制栅共用一个半导体鳍片，提高了器件的集成度，减小了对衬底的占用面积，满足了对器件尺寸日益微缩的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 挥发性 存储 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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