[发明专利]一种微损伤减缓铝刻蚀侧腐的方法有效

专利信息
申请号: 201910108427.6 申请日: 2019-02-03
公开(公告)号: CN109786241B 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 朱友华;秦佳明;刘轩;李毅;王美玉 申请(专利权)人: 南通大学
主分类号: H01L21/3213 分类号: H01L21/3213
代理公司: 南京同泽专利事务所(特殊普通合伙) 32245 代理人: 蔡晶晶
地址: 226019*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种微损伤减缓铝蚀刻侧腐的方法,包括以下步骤:S1、使用光刻胶作为掩膜,利用刻蚀气体在金属表面刻蚀,形成槽;S2、利用氧化气体对槽壁和槽底的金属进行氧化,形成金属氧化物;S3、利用刻蚀气体对槽底的金属氧化物进行刻蚀,去除所述槽底的金属氧化物,保留槽壁的金属氧化物;S4、重复步骤S2和S3,直到刻槽深度达到要求为止。本发明通过循环次数来控制刻蚀深度,利用反应离子刻蚀机(RIE)刻蚀材料时是各向异性的特点,侧壁的刻蚀作用低于Bias方向。因此在刻蚀时,底部的金属氧化物被受到较强的轰击作用,很容易被刻蚀掉,而对侧壁的金属氧化物刻蚀作用非常小。故,侧壁的金属氧化物得以保留,防止内部的金属被刻蚀,从而能够控制线宽。
搜索关键词: 一种 损伤 减缓 刻蚀 方法
【主权项】:
1.一种微损伤减缓铝刻蚀侧腐的方法,包括以下步骤:S1、使用光刻胶作为掩膜,利用刻蚀气体在Al表面刻蚀,形成槽;S2、利用氧化气体对槽壁和槽底的Al进行氧化形成Al2O3,本步骤在反应离子刻蚀机中进行,氧化的工艺条件是:氧气流量为80‑120sccm,反应离子刻蚀机的输出功率为80‑120W,反应离子刻蚀机反应腔的气压为70‑90mtorr,氧化时间为5‑15min;S3、利用刻蚀气体对槽底进行刻蚀,首先去除槽底的Al2O3,然后对槽底裸露出的Al进行刻蚀,并保留槽壁的Al2O3,本步骤在反应离子刻蚀机中进行,刻蚀的工艺条件是:Cl2的气体流量为40‑60sccm,BCl3的气体流量为110‑130sccm,反应离子刻蚀机的输出功率为160‑200W,反应离子刻蚀机反应腔的气压为10‑20mtorr,刻蚀时间为15‑20min;S4、重复步骤S2和S3,直到刻槽深度达到要求为止。
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