[发明专利]一种制备高致密氧化钇涂层的方法在审
| 申请号： | 201910109348.7 | 申请日： | 2019-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN109877012A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 徐俊阳;李加 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;B05D1/32;C23C4/134;C23C4/11 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备高致密氧化钇涂层的方法，该技术制备的涂层应用于半导体领域。该方法主要包括以下操作步骤：(1)将零件喷涂的部分进行处理；(2)采用大气等离子喷涂技术喷涂一层很薄的氧化钇涂层；(3)再采用喷涂结合悬浮液技术，喷涂一层氧化钇悬浮液涂层；(4)清洗零件。采用该方式获得的涂层，涂层非常致密，涂层的孔隙率低于1.5％，涂层的结合力更好，涂层的硬度也搞，最终获得综合性能良好的涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 喷涂 氧化钇涂层 制备 高致密 大气等离子喷涂 致密 半导体领域 悬浮液技术 清洗零件 涂层应用 综合性能 结合力 孔隙率 悬浮液 氧化钇 | ||
【主权项】：
1.一种制备高致密氧化钇涂层的方法，其特征包括：(1)喷涂前，清洗零件，不允许残留机械零件的屑渣及油污；将非喷涂区进行遮挡保护；(2)用大气等离子喷涂技术喷涂一层很薄的氧化钇涂层；(3)再用喷涂结合悬浮液技术，喷涂一层氧化钇悬浮液涂层；(4)喷涂后，测量涂层厚度，将遮蔽保护去掉，清洗零件，保证零件高洁净度。
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