[发明专利]压力传感器在审
| 申请号： | 201910110782.7 | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109724744A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | C-H·林;T·L·唐;W·S·苏;C·M·林;R·赫梅尔;U·巴特世;M·赫玛斯道夫 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡晓萍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种压力传感器，包括：第一基底(1)和附连到第一基底(1)的盖(4)。盖(4)包括处理电路(241)、腔室(41)以及可变形隔膜(42)，该隔膜隔离腔室(41)和通向压力传感器外界的开口。提供感应装置，其将可变形隔膜(42)对开口处的压力响应转换为信号，信号能够被处理电路(241)处理。盖(4)附连到第一基底(1)，可变形隔膜(42)面向第一基底(1)，且间隙(6)设置在可变形隔膜(42)和第一基底(1)之间，该间隙(6)有助于开口。第一基底(1)包括附连盖(4)的支承部分(7)、将压力传感器电连接到外部装置的接触部分(8)，以及用以从接触部分(8)中悬置出支承部分(7)的一个或多个悬置元件(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 可变形隔膜 压力传感器 处理电路 支承 开口 感应装置 隔离腔室 外部装置 悬置元件 压力响应 电连接 开口处 附连 腔室 悬置 隔膜 转换 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括：第一基底，所述第一基底包括腔室、可变形隔膜、第一电极以及第二电极，其中，所述可变形隔膜形成于所述腔室的一侧处，而所述第一电极形成于所述腔室的面向所述可变形隔膜的相对侧处，其中，所述第一电极通过所述腔室与所述可变形隔膜隔开，且所述第二电极形成于所述可变形隔膜上；以及第二基底，所述第二基底附连到所述第一基底并且在其内形成间隙，其中，所述可变形隔膜位于所述间隙内，所述可变形隔膜响应于压力而变形，且所述第一电极和所述第二电极响应于通过所述可变形隔膜的变形而产生信号。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应美盛股份有限公司，未经应美盛股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910110782.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种大坝渗压监测装置
- 下一篇：汽车空调制冷剂测试辅助装置
