[发明专利]一种ICP设备及其线圈驱动电路、控制方法在审
| 申请号： | 201910112759.1 | 申请日： | 2019-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN111565505A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 赵馗;刘身健 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 党丽;王宝筠 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种ICP设备及其线圈驱动电路、控制方法，第一通路包括作为内线圈的第一线圈和第一平衡电容，第二通路包括作为外线圈的第二线圈和第二平衡电容，第一平衡电容和第二平衡电容使得第一线圈和第二线圈在预设射频频率下达到电压平衡态，在第一通路和/或第二通路中还连接有开关单元，用于在点燃等离子体时处于第一状态，以破坏其电压平衡态，使得电感线圈可以产生电场，并进入到反应腔中，实现等离子体的可靠点燃；而在点燃等离子体后处于第二状态，以保持其电压平衡态，使得电感线圈产生的电场处于平衡态，避免电场进入反应腔，确保等离子体工艺过程中更小的电容耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 icp 设备 及其 线圈 驱动 电路 控制 方法 | ||
【主权项】：
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