[发明专利]阶梯式元件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201910113794.5 申请日: 2019-02-14
公开(公告)号: CN111435680B 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 蔡依敏;廖宏魁;刘振强;施咏尧;何政宇;李惠民 申请(专利权)人: 力晶积成电子制造股份有限公司
主分类号: H01L29/10 分类号: H01L29/10;H01L29/78;H01L21/336
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开一种阶梯式元件及其制造方法,其中该阶梯式元件包括基底。位于主动区中的基底具有阶梯式结构。阶梯式结构的高度在通道宽度方向上从主动区的一端至另一端逐步降低。
搜索关键词: 阶梯 元件 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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