[发明专利]一种高品质石英舟的生产加工方法

摘要

本发明公开了一种高品质石英舟的生产加工方法，属于半导体硅片载具技术领域，解决了传统石英舟生产工艺加工出的产品易形变、产品品质较差的问题。主要包括来料检、切割、加工中心加工、酸洗、纯水清洗、火加工、支承退火、酸洗、纯水清洗、封装发货等工序。本发明加工工艺生产出的产品品质高，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中产生的形变；拉绳式退火支承台结构设计使得本发明具有非常强的通用性；本发明改进成本低，退火支承台制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。

主权项

1.一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于，包括如下操作步骤：a.来料检；b.切割：将步骤a检验合格的石英棒按照规定尺寸要求进行切割；c.加工中心加工；利用加工中心加工出石英棒的插片槽及石英舟的侧板；d.酸洗：利用酸洗溶液洁净步骤c的产物；e.纯水清洗：将步骤d的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；f.火加工：利用石英焊枪焊接步骤e的产物，将石英棒与侧板固接后，石英舟半成品成型；g.支承退火：将步骤f的石英舟半成品推入退火炉内进行退火去应力，该石英舟半成品在炉内由退火支承台支承后放置在石英棉上，所述石英棉平铺于石英架上；退火结束后，将退火后的半成品拉出静置于石墨板上慢慢冷却；h.酸洗：将步骤g中冷却后的产物放入酸洗溶液中进行清洗；i.纯水清洗：将步骤h的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；j.封装发货：将步骤i中的产物进行出厂检验，将检验合格的产品封装发货。