[发明专利]用于在高温环境中检测或监测化学前体的设备在审
| 申请号： | 201910114781.X | 申请日： | 2019-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN110186908A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | J·K·沙格鲁;C·L·怀特 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张静;王颖 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 公开了一种用于监测和/或检测反应室中化学前体浓度的设备和方法。所述设备和方法具有在高温环境中操作的优点。光学发射光谱仪(OES)联接于气体源，例如固体源容器，以便监测或检测到达所述反应室的所述化学前体的输出。替代地，可以周期性地监测流动进入所述OES以及进入真空泵，由此绕过所述反应室的少量前体样品。 | ||
| 搜索关键词： | 化学前体 监测 高温环境 反应室 光谱仪 光学发射 检测反应 固体源 气体源 真空泵 检测 前体 绕过 联接 输出 替代 流动 | ||
【主权项】：
1.一种用于监测气体源浓度的装置，其包含：固体源容器，所述固体源容器含有固体前体并使所述固体前体升华为第一气体前体；联接于所述固体源容器的气体管线，所述气体管线配置成使所述第一气体前体的第一部分移动到反应室中并使所述第一气体前体的第二部分移动到采样端口中；联接于所述采样端口的RF源，所述RF源电离所述第一气体前体；联接于所述RF源的光学发射光谱仪，所述光学发射光谱仪配置成获得所述电离的第一气体前体的光谱；以及排气泵，其联接于所述RF源并配置成排出所述电离的第一气体前体；其中所述电离的第一气体前体的浓度基于所述光谱确定。
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