[发明专利]废旧石墨坩埚的回收利用和高纯碳粉在审
申请号: | 201910118294.0 | 申请日: | 2019-02-13 |
公开(公告)号: | CN109775700A | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 靳婉琪;耶夫亨·布乐琴科;王震 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/215 | 分类号: | C01B32/215 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 吴绍群 |
地址: | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请涉及一种废旧石墨坩埚的回收利用方法和高纯碳粉,属于半导体材料领域。该废旧石墨坩埚的回收利用方法通过将废旧石墨坩埚破碎、筛分、酸洗、水洗和干燥后制得高纯碳粉。本申请解决了废旧石墨坩埚回收利用问题,使现有资源被更加充分地利用,同时降低了高纯碳粉的成本,该方法低碳、环保、节能;废旧石墨坩埚经过多次高温使用,杂质含量低,且制备高纯碳粉的成本低;高纯碳粉的纯度高、粒度分布宽、可用于制备半导体级碳化硅粉。 | ||
搜索关键词: | 石墨坩埚 高纯碳 回收利用 制备 半导体材料领域 半导体级 高温使用 粒度分布 碳化硅粉 低碳 可用 酸洗 申请 破碎 节能 环保 | ||
【主权项】:
1.一种废旧石墨坩埚的回收利用方法,其特征在于,该方法包括将废旧石墨坩埚破碎、筛分、酸洗、水洗和干燥后,制得高纯碳粉。
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