[发明专利]用于半导体设备的上下位机信息同步系统及方法有效
| 申请号： | 201910123169.9 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN110531712B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 周法福 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于半导体设备的上下位机信息同步系统。该系统包括上位机、下位机以及系统数据库，所述系统数据库分别与所述上位机、所述下位机通信连接。所述上位机与所述下位机用于记录半导体设备的硬件信息以及工艺执行过程中的事件过程信息，且所述上位机和所述下位机基于数据镜像机制实现信息同步，并且将同步的信息反馈给所述系统数据库。本发明实现了在软件异常情况下的灵活选择处理方式和硬件信息的同步管理机制，完善了工艺过程中异常处理能力，有助于提升硬件信息的真实性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体设备 下位 信息 同步 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于半导体设备的上下位机信息同步系统，其特征在于，包括上位机、下位机以及系统数据库，所述系统数据库分别与所述上位机、所述下位机通信连接；/n所述上位机与所述下位机用于记录半导体设备的硬件信息以及工艺执行过程中的事件过程信息，且所述上位机和所述下位机基于数据镜像机制实现信息同步，并且将同步的信息反馈给所述系统数据库。/n
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