[发明专利]一种磁流体端头及磁控溅射靶有效
| 申请号： | 201910126210.8 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111593307B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 年志刚;余冲平;罗友菊;张贵土 | 申请（专利权）人： | 东君新能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845 | 代理人： | 申婕 |
| 地址： | 101499 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种磁流体端头，应用于磁控溅射靶，包括外壳、设置于所述外壳内的磁流体组件、以及空心轴组件。所述空心轴组件设置于所述外壳内，并进一步包括内空心轴和外空心轴；所述内空心轴内接于所述外空心轴中，用于连接溅射靶头；其中，所述磁流体组件设置于所述外壳和所述外空心轴之间，所述外空心轴能够将所述磁流体组件与所述内空心轴隔离。本发明实施例还提供一种磁控溅射靶，包括以上所述的磁流体端头、与所述磁流体端头可拆卸连接的溅射靶头和运动机构。本发明实施例能够解决磁控溅射靶中磁流体密封装置及与其相连部件的漏电安全问题，防止发生磁控溅射靶中阴阳极短路问题，从而提高磁控溅射靶的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 端头 磁控溅射 | ||
【主权项】：
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