[发明专利]一种气相沉积设备的送料机构在审
| 申请号： | 201910126273.3 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109809683A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 顾勇;张舞杰;谢长贵;邓锦飞 | 申请（专利权）人： | 无锡市凯灵电子有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44299 | 代理人： | 姜宗华 |
| 地址： | 214156 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种气相沉积设备的送料机构，包括：升降器、横移器和旋转器，所述横移器设置在所述升降器上，所述旋转器设置在所述横移器上，旋转器包括：旋转支架、定位盘、旋转座、伸缩杆、旋转电机、转盘和卡爪，定位盘位于旋转支架上，旋转座与定位盘通过伸缩杆连接，旋转电机位于旋转座上，旋转电机与转盘形成转动连接，多个卡爪固定在转盘的下表面。上述送料机构在靶棒的气相材料沉积过程中，能实现靶棒的升降运动以及转动，大大地提高了材料的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 送料机构 旋转电机 定位盘 横移器 旋转器 旋转座 转盘 沉积设备 旋转支架 伸缩杆 升降器 靶棒 卡爪 气相材料 升降运动 转动连接 均匀性 下表面 沉积 转动 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积设备的送料机构，其特征在于：所述送料机构包括：升降器、横移器和旋转器，所述横移器设置在所述升降器上，所述旋转器设置在所述横移器上，所述旋转器包括：旋转支架、定位盘、旋转座、伸缩杆、旋转电机、转盘和卡爪，所述定位盘位于所述旋转支架上，所述旋转座与所述定位盘通过所述伸缩杆连接，所述旋转电机位于所述旋转座上，所述旋转电机与所述转盘形成转动连接，所述卡爪为多个，多个卡爪固定在所述转盘的下表面。
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