[发明专利]基板清洗机有效
| 申请号： | 201910126483.2 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109772794B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 陈国梁 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/00;B08B11/04 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板清洗机，其包括水洗单元，所述水洗单元包括：水刀单元，包括水刀喷头以及水刀盖板，用于清洗基板表面，毛刷单元，用于去除所述基板表面的颗粒，盖板清洗单元，用于使用清洗溶液清洗所述水刀盖板表面；盖板清洗单元用于将水刀盖板的死水冲洗掉，这样，在水刀单元清洗基板时，水刀盖板上不会存在死水滴落到基板上的情况，解决了现有基板清洗机存在水刀盖板上的死水滴落到基板上导致基板清洁不净的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗机，其特征在于，包括水洗单元，所述水洗单元包括：水刀单元，包括水刀喷头以及水刀盖板，用于清洗基板表面；毛刷单元，用于去除所述基板表面的颗粒；盖板清洗单元，用于使用清洗溶液清洗所述水刀盖板表面。
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