[发明专利]一种锥状开口的FMM电铸母板制作方法在审
| 申请号： | 201910126607.7 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109898104A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 简旭宏;黄俊铭 | 申请（专利权）人： | 合肥永淇智材科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;C25D1/08;C23F1/02;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 娄岳 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种锥状开口的FMM电铸母板制作方法，包括：提供一电铸成品的掩模板；将所述掩模板进行双面湿膜涂布或喷涂，填满该掩膜板孔洞；通过曝光对位后，控制光阻成型、显影得到大开口端；使用蚀刻制程贯穿所述大开口端，形成所需要的小开口端，所述大开口端和小开口端构成FMM的开口。本发明通过双面湿膜涂布或喷涂、曝光对位后，控制光阻成型显影得到所需要的大开口端，然后通过蚀刻制程得到小开口端，即可形成FMM所需要的大小锥形开口。 | ||
| 搜索关键词： | 大开口端 小开口端 电铸母板 曝光对位 湿膜涂布 蚀刻制程 锥状开口 控制光 掩模板 喷涂 显影 成型 孔洞 锥形开口 掩膜板 电铸 填满 制作 开口 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种锥状开口的FMM电铸母板制作方法，其特征在于，包括：提供一黄光成品的黄光母板；翻铸得到电铸成品的掩模板，电铸厚度低于黄光干膜厚度，并形成孔洞；将所述掩模板进行双面湿膜涂布或喷涂光阻，并填满该掩膜板孔洞；通过曝光对位后，通过光阻成型、显影得到大开口端；使用蚀刻制程贯穿所述大开口端，形成所需要的小开口端，所述大开口端和小开口端构成FMM的开口；除膜后得到成品。
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