[发明专利]带电粒子束装置和试样加工观察方法在审
| 申请号： | 201910126745.5 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN110176379A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 山本洋;酉川翔太;铃木秀和;铃木浩之;冈部卫;麻畑达也 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法。提供如下的带电粒子束装置和使用该带电粒子束装置的试样加工观察方法，该带电粒子束装置具备镓离子束镜筒、具有半浸没透镜型的物镜的电子束镜筒和气体离子束镜筒，能够在短时间内高效地进行试样的精加工和试样加工面的高精度的SEM像取得。带电粒子束装置的特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。 | ||
| 搜索关键词： | 带电粒子束装置 气体离子束 试样加工 镜筒 镓离子束 电子束镜筒 浸没透镜 精加工 物镜 观察 照射 试样照射电子束 波束 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。
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