[发明专利]低压等离子体腔及其制造方法和低压等离子体设备

摘要

本发明涉及一种低压等离子体腔(12)，其具有由玻璃制成的优选正方形的低压等离子体腔本体(14)。本发明还涉及一种具有这种低压等离子体腔的低压等离子体设备以及一种用于制造低压等离子体腔的方法。低压等离子体腔可在低压等离子体腔本体的相对的侧上具有电极(16a、16b)。此外，低压等离子体腔可在相对的侧上具有门和后壁封闭部。门和后壁封闭部可分别具有至少一个介质接头，以实现在低压等离子体腔中均匀的气体流动。门可装配到低压等离子体腔本体的径向从低压等离子体腔本体的纵轴线延伸出来的凸缘上。低压等离子体腔本体优选地与工业化的玻璃瓶制造相似地以压制方法或吹制‑吹制方法制成。

主权项

1.一种用于低压等离子体设备(10)的低压等离子体腔(12)，该低压等离子体设备用于对低压等离子体腔(12)中的构件(20)进行等离子体处理，其中，所述低压等离子体腔(12)具有由玻璃或瓷器材料制成的低压等离子体腔本体(14)，其特征在于，所述低压等离子体腔本体(14)的横截面构成为四边形、尤其是矩形。