[发明专利]微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统及方法

摘要

本发明公开了一种微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统及方法，其中，对准系统包括：微细工具电极、绝缘液体、导电微球、导电液体和电接触反馈系统，其中，微细工具电极作为涂覆或蘸上第一预设容积的绝缘液体和导电微球的载体；绝缘液体用于微细工具电极粘附导电微球并实现自动对准中心；导电微球用于实现接触绝缘材料工件时上移，导通导电液体和微细工具电极产生电接触信号；导电液体连接电源一极，并与导电微球、微细工具电极产生电接触信号；电接触反馈系统用于检测到电接触信号时记录接触点当前位置，并发出Z轴停止进给运动指令。该对准系统可实现非平整非导电表面高度的精确测量，而且测量系统成本较低，简单易实现。

主权项

1.一种微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统，其特征在于，包括：微细工具电极、绝缘液体、导电微球、导电液体和电接触反馈系统，其中，所述微细工具电极作为涂覆或蘸上第一预设容积的所述绝缘液体和所述导电微球的载体；所述绝缘液体用于所述微细工具电极粘附所述导电微球并实现自动对准中心；所述导电微球用于实现接触绝缘材料工件时上移，导通所述导电液体和所述微细工具电极产生电接触信号；所述导电液体连接电源一极，并与所述导电微球、所述微细工具电极产生电接触信号；以及所述电接触反馈系统用于检测到所述电接触信号时记录接触点当前位置，并发出Z轴停止进给运动指令，其中，所述Z轴为所述微细工具电极轴向方向。