[发明专利]数字全息显微镜及使用其的检查方法和半导体制造方法在审
| 申请号： | 201910128810.8 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN110554005A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 李明俊;金郁来;朴光植;崔昌勋 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G03H1/00 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵南;张青 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种能够在高分辨率下精确检查检查对象的同时执行高速检查的低成本数字全息显微镜(DHM)，一种利用DHM的检查方法和一种利用DHM制造半导体装置的方法。DHM包括：光源，其被构造为产生和输出光；分束器，其被构造为使得光入射到检查对象并且输出来自检查对象的反射光；以及检测器，其被构造为检测反射光，其中，当反射光包括干涉光时检测器产生干涉光的全息图，并且其中在从光源至检测器的路径上无透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 检查对象 反射光 干涉光 光源 数字全息显微镜 半导体装置 高分辨率 高速检查 低成本 分束器 光入射 全息图 输出光 无透镜 检查 输出 检测 制造 | ||
【主权项】：
1.一种数字全息显微镜，包括：/n光源，其被构造为产生和输出光；/n分束器，其被构造为使得所述光入射到检查对象并且输出来自所述检查对象的反射光；和/n检测器，其被构造为检测所述反射光，/n其中，当所述反射光包括干涉光时所述检测器产生全息图，并且/n其中，所述数字全息显微镜具有从所述光源至所述检测器的无透镜路径。/n
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