[发明专利]喷嘴以及涂布装置有效
| 申请号： | 201910129149.2 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN109721254B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陈敬华;王江;刘继承;康凯 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种喷嘴以及涂布装置，该喷嘴以及涂布装置包括：腔体、设置在所述腔体内的分流结构以及喷口，所述腔体用于传导涂布液，所述分流结构用于将所述涂布液均匀分布在所述腔体内，所述喷口用于将涂布液涂布在基板表面，该发明中的分流结构可以使得涂布液最终均匀涂布在基板表面，提高了产品的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种喷嘴，用于将涂布液涂布于基板表面，其特征在于，所述喷嘴包括：腔体，用于传导所述涂布液；分流结构，所述分流结构设置在所述腔体内，所述分流结构用于将所述涂布液均匀分布在所述腔体内；多个喷口，用于将所述涂布液涂布在所述基板表面。
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