[发明专利]硅晶向鉴别仪有效
| 申请号： | 201910129809.7 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN109827961B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王振宇;乔治;蔡一博;高文强;沈世华;焦新兵 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/21;G01N21/47 |
| 代理公司： | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人： | 沈国良 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅晶向鉴别仪，本鉴别仪包括沿光束方向依次设置的激光发射器、透镜、检测单元、分束单元以及光强探测器和偏振探测器，激光发射器发射的激光通过透镜聚焦后照射至检测单元，检测单元形成反射光输出至分束单元，分束单元输出两路光束并且分别被光强探测器和偏振探测器接收，光强探测器测出经检查单元后反射激光的光强和光斑的位移，偏振探测器测出经检查单元后反射激光的偏振和光斑的位移。本鉴别仪有效提高硅晶向鉴别的精度，从而提高掩膜版与晶圆大晶向的对准精度，且光路元件结构简单，降低设备成本，具有反应速度快，精度高、可靠性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 鉴别 | ||
【主权项】：
1.一种硅晶向鉴别仪，其特征在于：本鉴别仪包括沿光束方向依次设置的激光发射器、透镜、检测单元、分束单元以及光强探测器和偏振探测器，所述激光发射器发射的激光通过所述透镜聚焦后照射至所述检测单元，检测单元形成反射光输出至所述分束单元，分束单元输出两路光束并且分别被所述光强探测器和偏振探测器接收，所述光强探测器测出经检查单元后反射激光的光强和光斑的位移，所述偏振探测器测出经检查单元后反射激光的偏振和光斑的位移。
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