[发明专利]立体NAND存储器的锯齿型电荷储存结构

摘要

本发明公开了一种存储器元件，包括通过位于基材上被绝缘层隔离的多个导电条带所组成的导电条带堆叠结构，以及设置在穿过导电条带堆叠结构到基材的开孔中的垂直通道结构。垂直通道结构设置在穿过导电条带堆叠结构的开孔中。电荷储存结构设置在导电条带和垂直通道结构的交叉点处，电荷储存结构包括多重材料层。绝缘层具有从垂直通道结构向内凹陷的侧壁。电荷储存结构的多重材料层的电荷储存层设置于绝缘层的侧壁。介电材料设置在垂直通道结构和位于绝缘层侧壁上的电荷储存层之间。