[发明专利]弹性表面波装置有效
| 申请号： | 201910136789.6 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN110198159B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 平塚祐也;广田和博 | 申请（专利权）人： | NDK声表滤波器股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李艳;臧建明 |
| 地址： | 日本北海道函馆市铃兰丘*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种弹性表面波装置，关于包含频率温度特性的各特性为良好。弹性表面波装置包含：晶体层；非晶氧化硅层，层叠于所述晶体层上；压电层，层叠于所述非晶氧化硅层上；以及梳形电极，形成于所述压电层上，用于在所述压电层上激励弹性表面波。当将所述弹性表面波的波长设为λ时，0.1≤所述非晶氧化硅层的厚度/λ≤1，0.08＜压电层的厚度/λ≤1。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 装置 | ||
【主权项】：
1.一种弹性表面波装置，其特征在于，包括：晶体层；非晶氧化硅层，层叠于所述晶体层上；压电层，层叠于所述非晶氧化硅层上；以及梳形电极，形成于所述压电层上，用于在所述压电层上激励弹性表面波；其中，当将所述弹性表面波的波长设为λ时，0.1≤所述非晶氧化硅层的厚度/λ≤1，0.08＜压电层的厚度/λ≤1。
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