[发明专利]3D形貌测量误差的在线补偿测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 201910138226.0 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN109668522A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 宋金龙;黄英俊;马军 | 申请（专利权）人： | 上海谦视智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 丁彦峰;贺亚明 |
| 地址： | 201100 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种3D形貌测量误差的在线补偿测量装置及测量方法，属于产品测量设备领域，其技术方案要点包括基准垫片、固定夹具、产品测量传感器和补差测量传感器，所述基准垫片水平设置在3D形貌测量仪的滑台上，所述固定夹具固定在基准垫片上方，所述固定夹具上侧放置待测产品，所述产品测量传感器设置于固定夹具上方，所述补差测量传感器设置于3D形貌测量仪的滑台下方，达到了消除由于滑台平整度不高造成的测量误差，降低滑台生产成本的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 固定夹具 形貌测量 产品测量 垫片 测量传感器 测量装置 在线补偿 测量 补差 滑台 技术方案要点 传感器设置 待测产品 设备领域 水平设置 平整度 传感器 生产成本 | ||
【主权项】：
1.一种3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，包括基准垫片(1)、固定夹具(2)、产品测量传感器(3)和补差测量传感器(4)，所述基准垫片(1)水平设置在3D形貌测量仪的滑台(5)上，所述固定夹具(2)固定在基准垫片(1)上方，所述固定夹具(2)上侧放置待测产品，所述产品测量传感器(3)设置于固定夹具(2)上方，所述补差测量传感器(4)设置于3D形貌测量仪的滑台(5)下方。
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