[发明专利]阵列基板的制作方法、阵列基板、显示屏及显示设备

摘要

本发明提供了一种阵列基板的制作方法、阵列基板、显示屏及显示设备，该方法包括：在衬底上制备有源材料，通过第一掩膜板图形化有源材料形成有源层；在有源层上制备第一绝缘材料，通过复用第一掩膜板对第一绝缘材料进行弱曝形成栅极绝缘层；在栅极绝缘层上制备第一导电材料，通过第二掩膜板图形化第一导电材料形成栅极层；在栅极层上制备第二绝缘材料，通过复用第二掩膜板对第二绝缘材料进行弱曝，形成层间绝缘层。该方法通过复用第一掩膜板形成覆盖有源层上表面及侧壁的栅极绝缘层；通过复用第二掩膜板形成覆盖栅极层上表面及侧壁的层间绝缘层；栅极绝缘层和层间绝缘层仅覆盖必要区域，最大限度地去除无机膜层，提高了阵列基板的整体弯折性。

主权项

1.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：在衬底(1)上制备有源材料，通过第一掩膜板对所述有源材料进行图形化形成有源层(4)；在所述有源层(4)上制备第一绝缘材料，通过复用所述第一掩膜板对所述第一绝缘材料进行弱曝，形成栅极绝缘层(5)；在所述栅极绝缘层(5)上制备第一导电材料，通过第二掩膜板对所述第一导电材料图形化形成栅极层(6)；在所述栅极层(6)上制备第二绝缘材料，通过复用第二掩膜板对所述第二绝缘材料进行弱曝，形成层间绝缘层(10)。